金融界2024年1月29日音讯，据国家知识产权局公告，华海清科股份有限公司获得一项名为“一种晶圆夹持组织和晶圆后处理设备“，授权公告号CN116246998B，请求日期为2023年3月。
专利摘要显现，本发明公开了一种晶圆夹持组织，其包含：转盘；卡爪组件，其沿所述转盘的周向设置，所述卡爪组件包含：固定座，其衔接于转盘且装备有贯穿孔，所述贯穿孔的内侧壁设置有螺旋的导向槽；滑动件，其同轴设置于所述贯穿孔且周向装备有限位部，所述限位部卡接于所述导向槽；顶升组件，其设置于卡爪组件下方，以带动所述滑动件沿竖向移动；移动的滑动件可以沿轴线旋转，使得其上的凸起部与晶圆边际抵接或别离，以完成晶圆的夹紧或开释。
